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高純氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)生產(chǎn)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過(guò)程都需要氧，例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。

使用高純氧氣時(shí)應(yīng)注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃，應(yīng)放在陰涼處，嚴(yán)禁接近煙火和易燃物；不可在氧氣表螺旋口上抹油；高純氧氣鋼瓶壓力很高，搬運(yùn)時(shí)避免傾倒、撞擊，以防止爆炸。

1）使用前要仔細(xì)觀看氣瓶肩部球面部分的標(biāo)志。特別是注意“下次試壓時(shí)間“。并在使用過(guò)程中按照要求定期對(duì)氣瓶作技術(shù)檢驗(yàn)。不得使用超過(guò)應(yīng)檢期限的氣瓶。

2）使用時(shí)，首先要做外部檢查，檢查重點(diǎn)是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發(fā)現(xiàn)有漏氣、滑扣、表針動(dòng)作不靈或“爬高“等，應(yīng)及時(shí)維修，切忌隨便處理。禁止帶壓擰緊閥桿，調(diào)整墊料。檢查漏氣時(shí)應(yīng)用肥皂水，不得使用明火。氣瓶與電焊在同一場(chǎng)使用時(shí)，瓶底應(yīng)墊上絕緣物，以防氣瓶帶電。與氣瓶接觸的管道和設(shè)備要有接地設(shè)備，防止由于產(chǎn)生靜電造成燃燒或爆炸。冬季使用電瓶時(shí)，瓶閥或減壓器可能出現(xiàn)結(jié)霜現(xiàn)象，或用熱水或蒸汽解凍，嚴(yán)禁用火烘烤或用鐵器敲擊瓶閥，也不能猛擰減壓器的調(diào)節(jié)螺絲，以防氣體大量沖出造成事故。

3）在使用和貯運(yùn)高純氧氣氣瓶過(guò)程中，應(yīng)避免劇烈震動(dòng)和撞擊。搬運(yùn)氣瓶要輕裝輕卸，必須用專門的抬架或小推車，禁止直接使用鋼絲繩等吊運(yùn)氧氣瓶。使用和貯存時(shí)，應(yīng)用欄桿或支架對(duì)氣瓶加以固定，防止傾倒。

4）氧氣瓶應(yīng)遠(yuǎn)離高溫、明火和熔融金屬飛濺物〔相距10米（m）以上〕。夏季使用時(shí)不得在烈日下曝曬。

5）開啟瓶閥或減壓器時(shí)動(dòng)作要緩慢，以防噴出高速氣流中的靜電火花放電、固體微粒的碰撞熱和降擦熱、氣體受突然壓縮時(shí)放出的熱量（絕熱壓縮）等引起氧氣瓶和減壓器爆炸著火。